張家港半導體去離子水設備

⑴ 半導體工業中為什麼要用去離子水

因為許多雜質（重金屬、鈉、鉀等）對於半導體特性的影響很大，在半導體表面清洗時，需要去掉這些有害雜質，以免在高溫處理時讓這些雜質進入到半導體中，故在清洗時必須採用純凈的去離子水。

⑵ 半導體中晶圓切割去離子水的作用是什麼

1 因為復切割過程中會產生熱制量，使用去離子水進行冷卻；
2 切割中會產生一些粉塵和碎屑，切得過程中要一直使用水來沖洗刀片。
使用去離子水是防止水中的可移動離子，比如Na\Cl之類對Wafer造成污染，影響後續的工藝。